解析等離子電拋機如何提高氧化拋光液的分散性及穩(wěn)定性
發(fā)布時間：2017-06-27 10:00:48
等離子電拋機化學(xué)拋光液中的組成成分與工件發(fā)生反應(yīng)，在工件加工表面形成一層很薄、結(jié)合力較弱的生成物；而拋光液中磨粒在壓力和摩擦作用下對工件表面進(jìn)行微量去除。此外，拋光過程化學(xué)拋光液還通過在拋光區(qū)域形成流體膜以及帶動磨粒在拋光區(qū)運動影響拋光過程。
納米氧化鋁顆粒在極性的水溶液中，氧化鋁顆粒由于受靜電力等作用發(fā)生團聚，容易出現(xiàn)絮凝分層等現(xiàn)象，破壞拋光液的分散性、穩(wěn)定性。拋光液主要由磨料、溶劑和添加劑組成，其種類、性質(zhì)、粒徑大小、顆粒分散度及穩(wěn)定性等與最終拋光效果緊密相關(guān)。
SiO2拋光液選擇性、分散性好，機械磨損性能較好，化學(xué)性質(zhì)活潑，并且后清洗過程處理較容易；缺點為在拋光過程中易產(chǎn)生凝膠，對硬底材料拋光速率低。
CeO2拋光液的優(yōu)點是拋光速率高，材料去除速率高；缺點是黏度大、易劃傷，且選擇性不好，后續(xù)清洗困難。Al2O3拋光液的缺點在于選擇性低、分散穩(wěn)定性不好、易團聚等，但對于硬底材料藍(lán)寶石襯底等卻具有優(yōu)良的去除速率。
氧化鋁拋光液憑借較高的拋光速率在藍(lán)寶石拋光液中有很好的應(yīng)用前景。然而氧化鋁拋光液在拋光過程中存在分散穩(wěn)定性差、拋光過程容易出現(xiàn)凝聚現(xiàn)象使拋光面出現(xiàn)劃痕的問題。有許多研究者對提高氧化鋁拋光液穩(wěn)定性進(jìn)行了研究。
